Криогенный насос ICTP250W Bama Superconductive Technology
Крионасос ICTP250W - насос с интегрированным контроллером, автоматизированной работой, функциями полной и быстрой регенерации, с возможностью удаленного управления, для полупроводниковых производств.
| Модель: ICTP250W | ||
|---|---|---|
| Конфигурация | Плоская | |
| Скорость откачки, л/с: для PVD/ионной имплантации | Азот | 2400/2200 |
| Водород | 3600/7000 | |
| Аргон | 2000/1800 | |
| Пары воды | 6500/6500 | |
| Емкость, станд. л: для PVD/ионной имплантации | Аргон | 2000/− |
| Водород | 16/24 | |
| Предельный вакуум, Па | 10-7 | |
| Тип фланца | CF/ ANSI/ UVG/ ISO250 | |
| Масса, кг | 32 | |
| Время полной регенерации, мин | 115 | |
| Время быстрой регенерации, мин | 50 | |
| Интервал сервисного обслуживания, ч | 16000 | |
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.
