Криогенный насос ICTP320W Bama Superconductive Technology
Крионасос ICTP320W - насос с интегрированным контроллером, автоматизированной работой, функциями полной и быстрой регенерации, с возможностью удаленного управления, для полупроводниковых производств.
| Модель: ICTP320W | ||
|---|---|---|
| Конфигурация | Плоская | |
| Скорость откачки, л/с: для PVD/ионной имплантации | Азот | 4000/3600 |
| Водород | 6000/13000 | |
| Аргон | 3300/3000 | |
| Пары воды | 11000/11000 | |
| Емкость, станд. л: для PVD/ионной имплантации | Аргон | 3100/− |
| Водород | 20/40 | |
| Предельный вакуум, Па | 10-7 | |
| Тип фланца | CF/ ANSI/ UVG/ ISO320 | |
| Масса, кг | 45 | |
| Время полной регенерации, мин | 150 | |
| Время быстрой регенерации, мин | 75 | |
| Интервал сервисного обслуживания, ч | 16000 | |
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.
