Крионасосы
Мы рады предложить Вам криогенные вакуумные насосы
от высокотехнологичного китайского предприятия,
направлением деятельности которого являются технологии низких температур и сверхвысокого вакуума.
Компания занимается разработками, производством и сервисным обслуживанием
оборудования. Особое внимание уделяется инновациям и совершенствованию выпускаемой продукции.
Преимущества крионасосов перед другими высоковакуумными средствами откачки:
чистота получаемого вакуума, высокая производительность, высокое давление включения,
высокая эффективность откачки водяных паров, относительно невысокая стоимость.
Принцип работы криогенных вакуумных насосов основан на процессах конденсации и сорбции молекул
при криогенных температурах, при давлениях 10-3 – 10-11 мбар. Молекулы газа из
откачиваемого
объема попадают в крионасос. На первой ступени крионасоса
(T=60-70K) конденсируются пары воды и "тяжелые" газы, на второй (T=12-17K) - кислород, азот, аргон. За счет
криоадсорбции на активированном угле на второй ступени также поглощаются водород, гелий, неон. По мере
работы,
после того, как достигнута предельная сорбционная емкость, крионасосы требуют периодической регенерации
("разморозки").
Система криогенного вакуумного насоса состоит из непосредственно крионасоса, гелиевого компрессора и линий
подачи и возврата
гелия в крионасос и обратно.
Применение криогенных вакуумных насосов:
- полупроводниковая и электронная промышленность,
- производство тонких пленок, ионные имплантеры
- нанесение оптических и защитных покрытий в вакууме,
- откачка загрузочных камер,
- производство дисплеев, интегральных микросхем,
- металлургия чистых металлов,
- научные исследования в вакууме,
- космическая и авиационная промышленность,
- имитаторы космоса,
- вакуумные печи,
- исследования материалов,
- ускорители заряженных частиц.
Модели и технические характеристики:
Насос криогенный CTP200 (200мм) |
Скорость откачки, л/с |
Азот |
1700 |
Водород |
2700 |
Аргон |
1400 |
Пары воды |
4000 |
Емкость, л |
Аргон |
1000 |
Водород |
12 |
Предельный вакуум, Па |
10-7 |
Тип фланца |
ISO, CF, другие по запросу |
Масса |
30кг |
Контроллер регенерации |
наличие |
Время захолаживания |
100мин |
Насос криогенный CTP250C (250мм) |
По запросу |
Насос криогенный CTP320C (320мм) |
По запросу |
Насос криогенный CTPL400C (400мм) |
Скорость откачки, л/с |
Азот |
5000 |
Водород |
10000 |
Аргон |
4200 |
Пары воды |
16000 |
Емкость, л |
Аргон |
4300 |
Водород |
24 |
Предельный вакуум, Па |
10-7 |
Тип фланца |
ISO, ANSI, другие по запросу |
Масса |
70кг |
Контроллер регенерации |
наличие |
Время захолаживания |
120мин |
Насос криогенный CTP500C (500мм) |
По запросу |
Насос криогенный CTPL550C (550мм) |
Скорость откачки, л/с |
Азот |
15000 |
Водород |
25000 |
Аргон |
14000 |
Пары воды |
39000 |
Емкость, л |
Аргон |
8100 |
Водород |
85 |
Предельный вакуум, Па |
10-7 |
Тип фланца |
ISO, ANSI, другие по запросу |
Масса |
120кг |
Контроллер регенерации |
наличие |
Время захолаживания |
180мин |
Насос криогенный CTPL720C (720мм) |
Скорость откачки, л/с |
Азот |
21000 |
Водород |
39000 |
Аргон |
19000 |
Пары воды |
57000 |
Емкость, л |
Аргон |
1000 |
Водород |
120 |
Предельный вакуум, Па |
10-7 |
Тип фланца |
UVG |
Масса |
210кг |
Контроллер регенерации |
наличие |
Время захолаживания |
180мин |