›

Криогенное оборудование

›

Крионасосы

Криогенные насосы

Стандартные модели (производительность по азоту: от 1700 до 28000 л/с)

Насос вакуумный
криогенный CTP200

Насос вакуумный
криогенный CTP200W

Насос вакуумный
криогенный CTP250

Насос вакуумный
криогенный CTP250W

Насос вакуумный
криогенный CTP320

Насос вакуумный
криогенный CTP320W

Насос вакуумный
криогенный CTP400

Насос вакуумный
криогенный CTP500

Насос вакуумный
криогенный CTP550

Насос вакуумный
криогенный CTP630

Насос вакуумный
криогенный CTP720

Насос вакуумный
криогенный CTP800

Модели со встроенным контроллером, функциями полной и быстрой регенерации, возможностью удаленного управления, для полупроводниковых производств

Насос криогенный
ICTP200

Насос криогенный
ICTP200W

Насос криогенный
ICTP250

Насос криогенный
ICTP250W

Насос криогенный
ICTP320

Насос криогенный
ICTP320W

Насос криогенный
ICTP400

Насос криогенный
ICTP500

Пример. Cхема системы с крионасосом и монитором температуры

Пример. Cистема с несколькими крионасосами

Криогенные вакуумные насосы имеют ряд особенностей, что делает это оборудование незаменимым для ряда научно-исследовательских и промышленных приложений.

Преимущества крионасосов перед другими высоковакуумными средствами откачки: чистота получаемого вакуума, высокая производительность, высокое давление включения, высокая эффективность откачки водяных паров, относительно невысокая стоимость. В крионасосах отсутствуют подвижные части, рабочие жидкости и масло, что полностью исключает попадание загрязнений в откачиваемый объем.

Принцип работы криогенных вакуумных насосов основан на процессах конденсации и сорбции молекул при криогенных температурах, при давлениях 10^-3 – 10^-11 мбар. Молекулы газа из откачиваемого объема попадают в крионасос. На первой ступени крионасоса (T=60-70K) конденсируются пары воды и "тяжелые" газы, на второй (T=12-17K) - кислород, азот, аргон. За счет криоадсорбции на активированном угле на второй ступени также поглощаются водород, гелий, неон. По мере работы, после того, как достигнута предельная сорбционная емкость, крионасосы требуют периодической регенерации ("разморозки").

Система криогенного вакуумного насоса состоит из непосредственно крионасоса, гелиевого компрессора и линий (шлангов) подачи и возврата гелия в крионасос и обратно. Возможна система с одним компрессором повышенной производительности, из расчета, чтобы обеспечить работу сразу нескольких крионасосов.

Применение криогенных вакуумных насосов:

• полупроводниковая и электронная промышленность,
• производство тонких пленок, ионные имплантеры
• нанесение оптических и защитных покрытий в вакууме,
• откачка загрузочных камер,
• производство дисплеев, интегральных микросхем,
• металлургия чистых металлов,
• научные исследования в вакууме,
• космическая и авиационная промышленность,
• имитаторы космоса,
• вакуумные печи,
• исследования материалов,
• в составе испытательного оборудования,
• ускорители заряженных частиц.

Наша компания предлагает широкий модельный ряд криогенных насосов по доступным ценам. Мы можем предложить также дополнительное оборудование: безмасляные форвакуумные насосы Anest Iwata спирального типа, винтовые, роторно-пластинчатые (пластинчато-роторные) вакуумные насосы, вакуумметры, датчики, клапаны, арматуру, вакуумные станции (в том числе - небольшие, с мембранными вакуумными насосами) и другие позиции.

У нас Вы можете купить оборудование с доставкой по Москве, СПб и всей России, заказать монтажные и пусконаладочные работы.