logo
home-page
Криогенное оборудование

Крионасосы

Криогенные насосы

bama-logo

Стандартные модели

Модели со встроенным контроллером, функциями полной и быстрой регенерации, возможностью удаленного управления, для полупроводниковых производств



Пример. Cхема системы с крионасосом и монитором температуры:

cryopump-scheme

Криогенные вакуумные насосы имеют ряд особенностей, что делает это оборудование незаменимым для ряда приложений.

Преимущества крионасосов перед другими высоковакуумными средствами откачки: чистота получаемого вакуума, высокая производительность, высокое давление включения, высокая эффективность откачки водяных паров, относительно невысокая стоимость. В крионасосах отсутствуют подвижные части и рабочие жидкости, что полностью исключает попадание загрязнений в откачиваемый объем.

Принцип работы криогенных вакуумных насосов основан на процессах конденсации и сорбции молекул при криогенных температурах, при давлениях 10-3 – 10-11 мбар. Молекулы газа из откачиваемого объема попадают в крионасос. На первой ступени крионасоса (T=60-70K) конденсируются пары воды и "тяжелые" газы, на второй (T=12-17K) - кислород, азот, аргон. За счет криоадсорбции на активированном угле на второй ступени также поглощаются водород, гелий, неон. По мере работы, после того, как достигнута предельная сорбционная емкость, крионасосы требуют периодической регенерации ("разморозки").

Система криогенного вакуумного насоса состоит из непосредственно крионасоса, гелиевого компрессора и линий подачи и возврата гелия в крионасос и обратно.

Применение криогенных вакуумных насосов:

Наша компания предлагает широкий модельный ряд криогенных насосов по доступным ценам. В дополнение к крионасосу, мы также можем предложить сопутствующее оборудование (форвакуумные насосы, вакуумметры, клапаны, арматуру). У нас Вы можете купить оборудование с доставкой по Москве, СПб и всей России, заказать монтажные и пусконаладочные работы.




Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.

Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.


Отправьте запрос

Наши специалисты оперативно свяжутся с Вами

Нажимая кнопку "Отправить запрос", я подтверждаю согласие с Политикой конфиденциальности.

Поля, отмеченные *, обязательны для заполнения.