Установки электронно-лучевого напыления
Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A
Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A чаще всего используется для нанесения покрытий из металлов (особенно тугоплавких) и некоторых оксидных материалов.
Электронно-лучевая напылительная установка DXD-500
Установка для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения DXD-500 предназначена для получения электропроводящих, полупроводниковых, сегнетоэлектрических, тонких оптических пленок и т.д. Может применяться для научных исследований и для производства небольших партий продукции в университетах и научно-исследовательских институтах.
Электронно - лучевое напыление (EBPVD) - широко распространенный метод получения тонких пленок. Процесс осаждения происходит в вакууме. Данная технология основана на обработке, нагреве и испарении напыляемого материала (мишени) электронным лучом. Источником электронного луча является электронная пушка, состоящая из вольфрамового катода и фокусирующей системы (электрических и магнитных полей). Пучок электронов из пушки направляется к водоохлаждаемому тиглю с мишенью, нагревает ее, приводя к испарению материала мишени. Поток испарившегося материала осаждается на подложке, формируя тонкую пленку.
Преимущества метода электронно-лучевого напыления:
- возможность напыления металлов (в том числе - тугоплавких), сплавов, полупроводниковых соединений и диэлектриков с высокой температурой плавления,
- высокая скорость испарения веществ и формирования пленки,
- высокая чистота получаемых покрытий,
- однородность пленки,
- легкость управления электронным лучом и технологическим процессом.
В нашей компании Вы также можете купить другие виды установок для нанесения покрытий: установки магнетронного, термического, импульсного лазерного напыления и др. по доступным ценам. Мы работаем по Москве, СПб и всей России.
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.