Установка пространственного ALD (Spatial ALD, SALD) Atomic

Особенности

Пространственное ALD разделяет прекурсоры в пространстве (а не во времени, как в традиционной технологии ALD), что обеспечивает высокую производительностью и позволяет производить непрерывные производственные процессы. Подложка поочередно перемещается через зоны реактора, подвергаясь воздействию различных прекурсоров в каждой из них.

Главной особенностью данной установки является возвратно-поступательное движение с производительностью 28 000 изделий в час. Технические характеристики и комплектация - в соответствии с Вашим техническим заданием.