Установка атомно-слоевого осаждения DXALD
Установка атомно-слоевого осаждения DXALD Xiamen Dexing Magnet Tech (Dexinmag)
Применение
Атомно-слоевое осаждение (ALD) - метод, позволяющий точно контролировать толщину пленки. С его помощью можно наносить металлы, оксиды, карбиды (N, Si), различные полупроводниковые и сверхпроводящие материалы. Установки атомно-слоевого осаждения надежны и просты в эксплуатации и применяются, в том числе, в учебных и научно-исследовательских учреждениях.
| Модель | DXALD |
|---|---|
| Предельный вакуум | 5 Па |
| Скорость натекания | <10-8 Па*л/с |
| Вакуумная камера | Материал: нерж.сталь (аргонодуговая сварка), с крышкой в верхней части |
| Нагрев подложек | Внешняя система нагрева, диапазон температур: от комнатной до 500 °C, непрерывная и регулируемая |
| Размер подложек | Ø50-100 мм |
| Равномерность толщины пленки | Для пленки ZnO и Ø100 мм - лучше ±1% |
| Линия подачи рабочего вещества | Согласно ТЗ Заказчика |
| Система откачки | Безмасляный сухой вакуумный насос, вакуумная магистраль |
| Контроль уровня вакуума | Датчик Пирани |
| Запись данных и интерфейс человек-машина | Наличие |
| Компьютерная система управления | Наличие |
| Габариты установки | 600*600*1200 мм |
| Другие параметры | По запросу |
Купить установку ALD производства компании Dexinmag можно в нашей компании. Мы работаем по Москве, СПб и всей России.
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.