Термическая установка вакуумного напыления DXD-450 Xiamen Dexing Magnet Tech (Dexinmag)
Применение
Установка термического вакуумного напыления DXD-450 (однокамерная) предназначена для получения металлических, полупроводниковых, оксидированных, органических и других тонких пленок. Используется в научно-исследовательских иститутах для изучения пленок из новых материалов, разработки новых технологий. Также данная модель применяется для тестирования перед серийным производством.
Основные узлы установки: рабочая камера для осаждения материалов из источников (органика/металлы), система вакууммирования, система измерения вакуума, источник испарения, система контроля температуры нагрева образца, электронная система управления и др.
| Модель | DXD-450 | |
|---|---|---|
| Рабочая вакуумная камера | Кубическая, 400х400х400 мм | |
| Вакуумная система | Механический форвакуумный насос, турбормолекулярный насос, клапан | |
| Предельное остаточное давление | ≤6*10-5 Па | |
| Время повторной откачки | 9*10-4 Па за 40мин | |
| Нагревательная пластина подложки | Размер образца | 120х120мм, 1шт |
| Режим перемещения | Подложка может подниматься и опускаться (диапазон : 0-50 мм); подложка может непрерывно вращаться (скорость вращения: 5-30 мин) | |
| Нагрев | Макс. температура нагрева подложки: 800°C ± 1°C; расстояние между подложкой и испарителем: 250-300 мм | |
| Источник | Тигель | Тигель емкостью ≥2cc |
| Температура | Комнатная температура—500°C, продолжительная и регулируемая | |
| Мощность | Ток: 300A, макс. выходная мощность: 3кВт | |
| Электроды с водяным охлаждением | 4шт (можно превратить в две лодочки) | |
| Контроллер кварцевого датчика для измерения толщины пленки | Диапазон отображения толщины пленки: 0-99μ9999Å | |
| Воздушный контур | Регулятор расхода (один канал) | |
| Устройство для сканирования лазерным лучом | Двумерное сканирование | |
| Компьютерная система управления | Управление вращением пластины мишени, вращением мишени, вращением образца, контроль температуры образца, сканирования лазерным лучом и т.д. | |
| Занимаемое пространство | Основная установка | 2450*1250мм2 |
| Шкаф управления | 700*700мм2 (1шт) | |
Термическое напыление - широко распространенный способ получения тонких пленок. В данной технологии напыляемый материал нагревается до высоких температур, испаряется в вакуумной камере, а затем конденсируется на поверхности подложки, образуя пленку. Данный метод является относительно простым и позволяет напылять большой перечень материалов, включая органические и неорганические полимеры, металлы.
Области применения установок термического напыления:
- производство плоских дисплеев (для напыления прозрачных проводящих слоев),
- производство металлизированной полиэтиленовой упаковочной плёнки,
- в микротехнологии - для напыления слоев металлизации,
- в оптике - для напыления просветляющих или отражающих покрытий,
- другие сферы и приложения.
В нашей компании Вы также можете купить другие виды установок для нанесения покрытий: установки магнетронного, электронно-лучевого, импульсного лазерного напыления и другие по доступным ценам. Мы работаем по Москве, СПб и всей России.
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.