Установка термического напыления DXD-450
Применение:
Установка термического напыления DXD-450 (однокамерная) предназначена для получения металлических, полупроводниковых, оксидированных, органических и других тонких пленок. Используется в научно-исследовательских иститутах для изучения пленок из новых материалов, разработки новых технологий. Также данная модель применяется для тестирования перед серийным производством.
Основные узлы установки: рабочая камера для осаждения материалов из источников (органика/металлы), система вакууммирования, система измерения вакуума, источник испарения, система контроля температуры нагрева образца, электронная система управления и др.
Модель | DXD-450 | |
---|---|---|
Рабочая вакуумная камера | Кубическая, 400х400х400 мм | |
Вакуумная система | Механический форвакуумный насос, турбормолекулярный насос, клапан | |
Предельное остаточное давление | ≤6*10-5 Па | |
Время повторной откачки | 9*10-4 Па за 40мин | |
Нагревательная пластина подложки | Размер образца | 120х120мм, 1шт |
Режим перемещения | Подложка может подниматься и опускаться (диапазон : 0-50 мм); подложка может непрерывно вращаться (скорость вращения: 5-30 мин) | |
Нагрев | Макс. температура нагрева подложки: 800°C ± 1°C; расстояние между подложкой и испарителем: 250-300 мм | |
Источник | Тигель | Тигель емкостью ≥2cc |
Температура | Комнатная температура—500°C, продолжительная и регулируемая | |
Мощность | Ток: 300A, макс. выходная мощность: 3кВт | |
Электроды с водяным охлаждением | 4шт (можно превратить в две лодочки) | |
Контроллер кварцевого датчика для измерения толщины пленки | Диапазон отображения толщины пленки: 0-99μ9999Å | |
Воздушный контур | Регулятор расхода (один канал) | |
Устройство для сканирования лазерным лучом | Двумерное сканирование | |
Компьютерная система управления | Управление вращением пластины мишени, вращением мишени, вращением образца, контроль температуры образца, сканирования лазерным лучом и т.д. | |
Занимаемое пространство | Основная установка | 2450*1250мм2 |
Шкаф управления | 700*700мм2 (1шт) |