logo
home-page
Технологические установки (PVD, ALD)

Установка термического напыления DXD-450

Установка термического напыления DXD-450

DexinMag-logo
PVD-DXD-450

Применение:

Установка термического напыления DXD-450 (однокамерная) предназначена для получения металлических, полупроводниковых, оксидированных, органических и других тонких пленок. Используется в научно-исследовательских иститутах для изучения пленок из новых материалов, разработки новых технологий. Также данная модель применяется для тестирования перед серийным производством.


Основные узлы установки: рабочая камера для осаждения материалов из источников (органика/металлы), система вакууммирования, система измерения вакуума, источник испарения, система контроля температуры нагрева образца, электронная система управления и др.

Технические характеристики
Модель DXD-450
Рабочая вакуумная камера Кубическая, 400х400х400 мм
Вакуумная система Механический форвакуумный насос, турбормолекулярный насос, клапан
Предельное остаточное давление ≤6*10-5 Па
Время повторной откачки 9*10-4 Па за 40мин
Нагревательная пластина подложки Размер образца 120х120мм, 1шт
Режим перемещения Подложка может подниматься и опускаться (диапазон : 0-50 мм); подложка может непрерывно вращаться (скорость вращения: 5-30 мин)
Нагрев Макс. температура нагрева подложки: 800°C ± 1°C; расстояние между подложкой и испарителем: 250-300 мм
Источник Тигель Тигель емкостью ≥2cc
Температура Комнатная температура—500°C, продолжительная и регулируемая
Мощность Ток: 300A, макс. выходная мощность: 3кВт
Электроды с водяным охлаждением 4шт (можно превратить в две лодочки)
Контроллер кварцевого датчика для измерения толщины пленки Диапазон отображения толщины пленки: 0-99μ9999Å
Воздушный контур Регулятор расхода (один канал)
Устройство для сканирования лазерным лучом Двумерное сканирование
Компьютерная система управления Управление вращением пластины мишени, вращением мишени, вращением образца, контроль температуры образца, сканирования лазерным лучом и т.д.
Занимаемое пространство Основная установка 2450*1250мм2
Шкаф управления 700*700мм2 (1шт)

Отправьте запрос

Наши специалисты оперативно свяжутся с Вами

Нажимая кнопку "Отправить запрос", я подтверждаю согласие с Политикой конфиденциальности.

Поля, отмеченные *, обязательны для заполнения.