Электронно-лучевая напылительная установка DXD-500
Установка электронно-лучевого напыления DXD-500 Xiamen Dexing Magnet Tech (Dexinmag)
Применение
Электронно-лучевая напылительная установка DXD-500 широко используется для получения электропроводящих пленок, полупроводниковых пленок, сегнетоэлектрических пленок, тонких оптических пленок и т.д. Применяется в научных исследованиях и для производства небольших партий в университетах и научно-исследовательских институтах.
Основными частями установки DXD-500 являются: напылительная вакуумная камера, электронная пушка E-beam, пластина для нагрева подложки, испарительный электрод, контур рабочего газа, система вакууммирования, вакууметрия, электронная система управления и др.
| Модель | DXD-500 | |
|---|---|---|
| Рабочая вакуумная камера | U-образной формы, с передней дверью и и системой откачки сзади; размер камеры: 500*500*600 мм | |
| Вакуумная система | Механический форвакуумный насос, турбормолекулярный насос, клапан | |
| Предельное остаточное давление | ≤6,67*10-5 Па (после прогрева и обезгаживания) | |
| Время повторной откачки | 6,67*10-4 Па за 45 мин | |
| Электронно-лучевой источник | Электронная пушка E-образной формы | Напряжение на положительном электроде: 6 кВ, 8 кВ |
| Количество | 2 компл. | |
| Карусель/тигли | С водяным охлаждением, 4 тигля, объем каждого: 11 мл | |
| Мощность | 0-6 кВт (регулируемая) | |
| Резистивный источник испарения (опция) | Напряжение | 5, 10 В |
| Мощность | Ток: 300 А, макс. выходная мощность: 3 кВт | |
| Кол-во | 1 компл. (может меняться) | |
| Электроды с водяным охлаждением | 3 шт. (можно превратить в две лодочки) | |
| Рабочая зона | Позволяет разместить подложку размером 4"; макс. температура нагрева подложки: 800 °C ± 1 °C; подложка может непрерывно вращаться со скоростью: 5-60 об/мин; расстояние между подложкой и источником испарения составляет 300-350 мм (регулируется); заслонка для образцов с ручным управлением - 1 компл. | |
| Воздушный контур | Регулятор расхода (один канал) | |
| Контроллер кварцевого датчика для измерения толщины пленки | Диапазон отображения толщины пленки: 0-99μ9999Å | |
| Занимаемое пространство | Основная установка | 900*800 мм2 |
| Шкаф управления | 800*800 мм2 (2 шт.) | |
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.