Установка магнетронного напыления DXJ-1000
Четырехкамерная установка магнетронного напыления DXJ-1000 Xiamen Dexing Magnet Tech (Dexinmag)
Применение
Установка магнетронного напыления DXJ-1000 применяется для осаждения металлических пленок (Al, Ag, Ni, Cu, Ti, Pd и т.д.) на поверхность кристаллического кремния. Она позволяет непрерывно создавать пленки для фотоэлектрических элементов из кристаллического кремния больших размеров, с различными характеристиками. В установке реализуется реактивное распыление и технология нанесения покрытий методом магнетронного распыления в условиях высокого и низкого вакуума.
Система состоит из камеры для загрузки образцов, камеры для напыления, камеры для изготовления образцов, устройства для подачи подложек, системы откачки и измерения вакуума, газового контура, электронной системы управления и др.
| Модель | DXJ-1000 | |
|---|---|---|
| Главная вакуумная камера (напылительная) | Квадратной формы, размер: 1000*700*350 мм | |
| Камера загрузки образцов | Квадратной формы, размер: 700*700*350 мм | |
| Вакуумная система | Механический форвакуумный насос, турбормолекулярный насос, клапан | |
| Предельное остаточное давление | Основная вакуумная камера (напылительная) | ≤8*10-5 Па (после прогрева и обезгаживания) |
| Камера загрузки образцов | ≤6,6*10-4 Па (после прогрева и обезгаживания) | |
| Время повторной откачки | Основная вакуумная камера (напылительная) | 6,6*10-4 Па за 40 мин |
| Камера загрузки образцов | 5*10-3 Па за 20 мин | |
| Мишени для магнетронного напыления | 2 шт., размер мишени прямоугольной формы порядка 450*75 мм; расстояние между мишенью и образцом - примерно 80 мм | |
| Нагревательная пластина подложки | Параметры подложки | Размер: 125*125мм или 156*156 мм; возможно единовременное размещение 4 шт. |
| Температура нагрева | Комнатная - 400 °C ± 2 °C, с возможностью контроля и регулировки | |
| Другая конфигурация | Ионная пушка для очистки; автоматизированное управление | |
| Воздушный контур | Регулятор расхода (трехканальный) | |
| Занимаемое пространство | Основная установка | 2655*930 мм2 |
| Шкаф управления | 700*700 мм2 (2 шт.) | |
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.