Установка магнетронного напыления DXJ-560D
Грушевидная однокамерная установка магнетронного напыления DXJ-560D Xiamen Dexing Magnet Tech (Dexinmag)
Применение
Грушевидная однокамерная магнетронная напылительная установка DXJ-560D применяется для получения современных тонкопленочных материалов, включая наноразмерные монослойные и многослойные многофункциональные пленки, металлические пленки, полупроводниковые пленки, диэлектрические пленки и т.д. Может применяться для научных исследований тонкопленочных материалов и выпуска небольших партий продукции в университетах и научно-исследовательских институтах.
Установка состоит из вакуумной камеры для напыления, магнетронов/мишеней для распыления, пластины для нагрева подложки с водяным охлаждением, контура подачи рабочего газа, системы вакуумирования и измерения вакуума, электронной системы управления и др.
| Модель | DXJ-560D | |
|---|---|---|
| Вакуумная напылительная камера | Грушевидной формы, Ø560*350 мм | |
| Вакуумная система | Механический форвакуумный насос, турбормолекулярный насос, клапан | |
| Предельное остаточное давление | ≤2*10-5 Па (после прогрева и обезгаживания) | |
| Время повторной откачки | 6,6*10-4 Па за 40 мин | |
| Магнетронные источники/мишени | 5 шт., размером Ø60 мм (один из источников может распылять магнитный материал). Распыление на ВЧ или постоянном токе. Расстояние между мишенью и образцом составляет 40-80 мм (регулируется). | |
| Нагревательная пластина подложки с водяным охлаждением | Структура | 6 точек, одна из которых предназначена для нагрева, остальные - для водяного охлаждения |
| Размер образца | Ø30 мм, возможно размещение 6 шт. | |
| Режим перемещения | Вращение назад и вперед на 0-360 °C | |
| Нагрев | Макс. температура нагрева подложки: 600 °C ± 1 °C | |
| Отрицательное смещение на подложке | -200 В | |
| Воздушный контур | Регулятор расхода (2 канала) | |
| Компьютерная система управления | Управление вращением образца, переключением заслонки и подтверждение положения мишени | |
| Занимаемое пространство | Основная установка | 1300*800 мм2 |
| Шкаф управления | 700*700 мм2 (2 шт.) | |
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.