logo
home-page
Технологические установки (PVD, ALD)

Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A

Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A

DexinMag-logo
PVD-DXMC-500A

Применение:

Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A в большей степени предназначена для нанесения покрытий на металлы (особенно тугоплавкие) и некоторые оксидные материалы. В ней реализовано отклонение электронного луча в 270° для нагрева и испарения материалов. В составе конструкции имеется стержень для очистки подложек тлеющим разрядом в плазме.

Технические характеристики

Комплектация установки DXMC-500A
Наименование Кол-
во
Производитель
Вакуумная камера размером Ø 500×600 (В) мм, с передней дверью, материал - нерж.сталь 304 1 Dexinmag
Смотровое окно (на двери, Ø100 мм) 2 Dexinmag
Заслонка смотрового окна (с ручным управлением) 2 Dexinmag
Внутренняя пластина для предотвращения загрязнения внутренней поверхности, изготовленная из нержавеющей стали 2 Dexinmag
Жалюзийная перегородка (для предотвращения попадания частиц вещества в магистраль) 1 Dexinmag
Турбомолекулярный насос (FF-200/1200, водяное охлаждение) 1 KYKY, Китай
Механический форвакуумный насос (8л/с) 1 Китай
Вакуумный затвор (нерж. сталь, GV200) 1 Dexinmag
Магистраль DN40 2 Dexinmag
Угловой клапан (KF40) 2 Dexinmag
Цифровой вакуумметр (ZDF-5227) 1 Китай
Регулятор расхода газа (D07-7), компл. 1 Китай
Столик для подложек, равномерность толщины пленки для 6-дюймовой подложки: лучше ±3% 1 Dexinmag
Источники для термического испарения (переключаемые), компл. 2 Dexinmag
Электронная пушка SEBG-103C (10 кВт) 1 Китай
Стержень для очистки подложек в тлеющем разряде, с источником питания 1 Китай
Стойка/рама для монтажа оборудования 1 Dexinmag
Датчик толщины пленки 1 Китай
Система питания и управления 1 Dexinmag

Отправьте запрос

Наши специалисты оперативно свяжутся с Вами

Нажимая кнопку "Отправить запрос", я подтверждаю согласие с Политикой конфиденциальности.

Поля, отмеченные *, обязательны для заполнения.