Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A
Применение:
Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A в большей степени предназначена для нанесения покрытий на металлы (особенно тугоплавкие) и некоторые оксидные материалы. В ней реализовано отклонение электронного луча в 270° для нагрева и испарения материалов. В составе конструкции имеется стержень для очистки подложек тлеющим разрядом в плазме.
Технические характеристики
- Вакуумная камера размером Ø 500 × 600 мм (В), материал - нержавеющая стали 304, с передней дверью, на которой располагается смотровое окно для наблюдения за электронной пушкой и обрабатываемой деталью;
- В нижней части вакуумной камеры находится одна электронная пушка E-beam мощностью 10 кВт и пневматическая заслонка;
- Вакуумная система: турбомолекулярный насос, механический форвакуумный насос, пневматический клапан, система контроля уровня вакуума, система защиты;
- Установка оснащена источниками для термического испарения (2компл.),
работающими поочередно.
Система высоковакуумной откачки:
- турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1200 - 1компл,
- затвор с пневматическим приводом GV200 -1шт,
- форвакуумный насос производительностью 8л/с -1шт,
- электромагнитный клапан Dg40 - 2шт,
- предельный вакуум: 5×10-7 Торр,
- время восстановления: время откачки от атмосферы до 5×10-6 Торр ≤40 мин
- Вакуумметр с цифровым дисплеем;
- Централизованная система управления: ПЛК Siemens и сенсорный экран; управление вакуумом, прогревом, вращением, испарением, внутренним нагревом, освещением и аварийным оповещением на одной панели. Механизм крепления подложек: с автоматическим вращением, расположен вверху, может удерживать 4-дюймовую или 6-дюймовую подложку; неравномерность покрытия в пределах эффективной площади покрытия составляет ≤±3%.
- Скорость вращения составляет 0-10 об/мин; имеется датчик для измерения толщины пленки;
- Прогрев: максимальная температура 350°C, управляется цифровым терморегулятором;
- Электронная пушка:
Основные характеристики:
- мощность 10 кВт,
- угол отклонения электронного луча 270°,
- карусель с тиглями с водяным охлаждением (материал-медь), с электроприводом,
- охлаждающая вода: расход ≥10л/мин, давление ≥ 0,15МПа, температура на входе ≤25°C
- Кварцевый датчик толщины пленки для автоматического контроля скорости испарения материала;
- В конструкции имеется стержень для очистки подложек в тлеющем разряде;
- Регулятор расхода газа: 1компл. (одна линия);
Наименование | Кол- во |
Производитель |
---|---|---|
Вакуумная камера размером Ø 500×600 (В) мм, с передней дверью, материал - нерж.сталь 304 | 1 | Dexinmag |
Смотровое окно (на двери, Ø100 мм) | 2 | Dexinmag |
Заслонка смотрового окна (с ручным управлением) | 2 | Dexinmag |
Внутренняя пластина для предотвращения загрязнения внутренней поверхности, изготовленная из нержавеющей стали | 2 | Dexinmag |
Жалюзийная перегородка (для предотвращения попадания частиц вещества в магистраль) | 1 | Dexinmag |
Турбомолекулярный насос (FF-200/1200, водяное охлаждение) | 1 | KYKY, Китай |
Механический форвакуумный насос (8л/с) | 1 | Китай |
Вакуумный затвор (нерж. сталь, GV200) | 1 | Dexinmag |
Магистраль DN40 | 2 | Dexinmag |
Угловой клапан (KF40) | 2 | Dexinmag |
Цифровой вакуумметр (ZDF-5227) | 1 | Китай |
Регулятор расхода газа (D07-7), компл. | 1 | Китай |
Столик для подложек, равномерность толщины пленки для 6-дюймовой подложки: лучше ±3% | 1 | Dexinmag |
Источники для термического испарения (переключаемые), компл. | 2 | Dexinmag |
Электронная пушка SEBG-103C (10 кВт) | 1 | Китай |
Стержень для очистки подложек в тлеющем разряде, с источником питания | 1 | Китай |
Стойка/рама для монтажа оборудования | 1 | Dexinmag |
Датчик толщины пленки | 1 | Китай |
Система питания и управления | 1 | Dexinmag |