›

Установки вакуумного напыления

›

Установки электронно-лучевого напыления

›

Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A

Установка электронно-лучевого напыления DXMC-500A Xiamen Dexing Magnet Tech (Dexinmag)

Применение

Электронно-лучевая напылительная установка DXMC-500A в большей степени предназначена для нанесения покрытий из металлов (особенно тугоплавких) и некоторых оксидных материалов. В ней реализовано отклонение электронного луча в 270° для нагрева и испарения материалов. В составе конструкции имеется стержень для очистки подложек тлеющим разрядом в плазме.

Технические характеристики

• Вакуумная камера размером Ø 500 × 600 мм (В), материал - нержавеющая стали 304, с передней дверью, на которой располагается смотровое окно для наблюдения за электронной пушкой и обрабатываемой деталью;
• В нижней части вакуумной камеры находится одна электронная пушка E-beam мощностью 10 кВт и пневматическая заслонка;
• Вакуумная система: турбомолекулярный насос, механический форвакуумный насос, пневматический клапан, система контроля уровня вакуума, система защиты;
• Установка оснащена источниками для термического испарения (2 компл.), работающими поочередно.

  Система высоковакуумной откачки:

  • турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1200 - 1 компл.,
  • затвор с пневматическим приводом GV200 -1 шт.,
  • форвакуумный насос производительностью 8 л/с -1 шт.,
  • электромагнитный клапан Dg40 - 2 шт.,
  • предельный вакуум: 5×10^-7 Торр,
  • время восстановления: время откачки от атмосферы до 5×10^-6 Торр ≤40 мин
• Вакуумметр с цифровым дисплеем;
• Централизованная система управления: ПЛК Siemens и сенсорный экран; управление вакуумом, прогревом, вращением, испарением, внутренним нагревом, освещением и аварийным оповещением на одной панели. Механизм крепления подложек: с автоматическим вращением, расположен вверху, может удерживать 4-дюймовую или 6-дюймовую подложку; неравномерность покрытия в пределах эффективной площади покрытия составляет ≤±3%.
• Скорость вращения составляет 0-10 об/мин; имеется датчик для измерения толщины пленки;
• Прогрев: максимальная температура 350 °C, управляется цифровым терморегулятором;
• Электронная пушка:

  Основные характеристики:

  • мощность 10 кВт,
  • угол отклонения электронного луча 270°,
  • карусель с тиглями с водяным охлаждением (материал-медь), с электроприводом,
  • охлаждающая вода: расход ≥10 л/мин, давление ≥ 0,15 МПа, температура на входе ≤25 °C
• Кварцевый датчик толщины пленки для автоматического контроля скорости испарения материала;
• В конструкции имеется стержень для очистки подложек в тлеющем разряде;
• Регулятор расхода газа: 1 компл. (одна линия);