logo
home-page
Технологические установки (PVD, ALD)

Установка магнетронного напыления DXMS-450C

Установка магнетронного напыления DXMS-450C

DexinMag-logo
PVD-DXMS-450C

Применение:

Установка магнетронного напыления DXMS-450C предназначена для получения тонких пленок с нано- и микроструктурами: таких как металлические, полупроводниковые, диэлектрические, оксидные, нитридные и другие нанопленки.


Режимы работы этой системы: с одной мишенью, поочередная работа и одновременная работа с двумя мишенями.


Установка DXMS-450C состоит из рабочей камеры, магнетронных источников, контура подачи рабочего газа, системы электропитания и управления, вакуумной системы и других компонентов.

Технические особенности

Рабочая камера

Система откачки

Рабочая камера установки оснащена турбомолекулярным насосом KYKY FF-160/620 и механическим форвакуумным насосом производительностью 8 л/с. Предельное остаточное давление: менее 8×10-5 Па. Вакуум контролируется с помощью цифрового вакуумметра. На входе турбомолекулярного насоса установлен затвор GV150 с ручным приводом.

Держатель подложек в сборе

Магнетронные источники

Подача газа

Газ поступает в рабочую камеру по трем каналам через РРГ (через один запорный клапан CF16).

Источник питания

Комплектация установки DXMS-450C
Наименование Кол-
во
Производитель
Вакуумная камера (размер Ø450 × 460 мм), верхняя крышка, материал - нерж. сталь 304 1 Dexinmag
Смотровое окно (устанавливается сбоку, Ø100 мм) 2 Dexinmag
Заслонка смотрового окна (с ручным управлением) 2 Dexinmag
Турбомолекулярный насос (FF-160/620, водяное охлаждение) 1 KYKY, Китай
Механический форвакуумный насос (8л/с) 1 Китай
Вакуумный затвор (нерж. сталь, GV150) 1 Dexinmag
Магистраль DN40 2 Dexinmag
Угловой клапан (KF40) 2 Dexinmag
Цифровой вакуумметр (ZDF-5227) 1 Китай
Регулятор расхода газа (D07-7), комплект 1 Китай
Магнетронные источники, 4 дюйма, с водяным охлаждением 2 Dexinmag
Столик для подложки Ø150 мм, нагрев: 500°C, вращающийся; напряжение смещения 1 Dexinmag
ВЧ источник питания мощностью 500 Вт, с согласующим устройством 1 Китай
Источник постоянного тока мощностью 1000 Вт 1 Китай
Рама для монтажа оборудования 1 Dexinmag
Система управления 1 Dexinmag

Отправьте запрос

Наши специалисты оперативно свяжутся с Вами

Нажимая кнопку "Отправить запрос", я подтверждаю согласие с Политикой конфиденциальности.

Поля, отмеченные *, обязательны для заполнения.