Установка магнетронного напыления DXT-450
Установка магнетронного напыления DXT-450 Xiamen Dexing Magnet Tech (Dexinmag)
Применение
Система магнетронного напыления DXT-450 применяется для получения тонких пленок, включая наноразмерные монослойные и многослойные пленки, металлические пленки, полупроводниковые пленки, диэлектрические пленки и т.д. Данная установка широко применяется для научных исследований тонкопленочных материалов и мелкосерийного производства в университетах и научно-исследовательских институтах.
Основные элементы установки DXT-450: вакуумная камера, магнетронные источники (3 шт.), нагреватель, источник постоянного тока, ВЧ источник питания, контур подачи рабочего газа, система откачки, система измерения вакуума, электронная система управления и монтажная стойка.
| Модель | DXT-450 |
|---|---|
| Вакуумная камера | Цилиндрическая, с передней дверью, размер: Ø450*400 мм |
| Система откачки | Турбомолекулярный насос, механический форвакуумный насос, пневматический клапан, дроссельная заслонка SMC |
| Предельный вакуум | ≤6.6*10-6 Па (после прогрева и обезгаживания) |
| Время повторной откачки | 25 мин до 6.6*10-4 Па |
| Источники (мишени) для напыления | Мишени размером Ø60 мм (один из источников может распылять магнитный материал). Распыление на ВЧ или постоянном токе. При водяном охлаждении три мишени могут одновременно отклоняться к центру образца. Расстояние между мишенью и образцом составляет 90-130 мм (регулируется). Каждый истоник оснащен вращающейся пневматической заслонкой производства SMC. |
| Нагреватель | Размер образца: Ø4" |
| Режим вращения: подложка может непрерывно вращаться, скорость вращения: 0-30 об/мин | |
| Нагрев: нагревательная лента, макс. температура нагрева 600 °С ± 1 °С | |
| Система контроля и управления | Автоматическое управление (ПЛК), промышленный ПК, сенсорный экран |
| Опции | Датчик толщины пленки, вакуумные насосы, система циркуляции охлаждающей воды |
| Занимаемое пространство | Основная установка: 1*1.8 м, шкаф управления: 0.9*0.6 м |
Цена предоставляется по запросу. Позвоните или напишите нам.
Мы поможем подобрать оптимальное по характеристикам и цене оборудование под Ваш бюджет.