Вакуумное оборудование

Электронно-лучевые испарители (ЭЛИ)

Электронно-лучевые испарители предназначены для промышленного или экспериментального получения тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков на твердых подложках. Характеризуются точным контролем, универсальностью и высоким качеством напыления.

Принцип работы

Электронно-лучевой испаритель (ЭЛИ) работает на основе фокусированного электронного луча, который направляется на материал в виде гранул, кусочков, проволоки, дисков и др., помещенный в охлаждаемый тигель. Плотность энергии электронов в фокусном пятне луча настолько высока, что она приводит к испарению атомов или молекул даже самых тугоплавких материалов. Испаренный материал затем осаждается на поверхность подложки, которая находится в вакуумной камере, образуя тонкую пленку.

Преимущества

• Высокая производительность: Электронно-лучевые испарители способны напылять на большие площади, что повышает производительность процесса.
• Высокая чистота: Электронный луч работает в высоком вакууме, без необходимости использовать газы, что гарантирует чистоту процесса и отсутствие загрязнений.
• Универсальность: Электронно-лучевые испарители могут быть использованы для испарения различных материалов, включая металлы, сплавы, керамику и композиты.
• Контролируемость и большой диапазон регулировки скорости испарения: возможность тонко регулировать мощность в фокусе пучка в диапазоне от 0 до 10 кВт и контролируемо перемещать положение фокуса пучка по тиглю позволяет испарять как легкоплавкие, сублимирующие, так и самые тугоплавкие материалы за один цикл из многотигельного испарителя, получать пленки от 1 нм до 20 мкм.

Серийно выпускаются одно- , четырех- и шести- тигельные ЭЛИ. Весь комплект - российского производства, включая вводы, блоки питания и управления лучом. Вращение ячейки с тиглями для выбора необходимого материала может выполняться как через привод, расположенный строго под ЭЛИ, так и сбоку из любой точки вакуумной камеры с использованием гибкого привода.

Материал водоохлаждаемых тиглей – медь. Можно заказать сменные тигли-вставки из меди, молибдена, графита.

Крышка тиглей из нержавеющей стали на шарнире с фиксацией закрывает все тигли кроме рабочего от запыления.

Съемный модульный катодный узел с удобным доступом к фиксирующим винтам, самому катодному узлу для контроля установки без демонтажа трубок охлаждения.

Объемы тиглей ЭЛИ – 14, 36, 100, 700 см3

Расстояние от дна тигля ЭЛИ до дна вакуумной камеры минимизировано для более однородного напыления. Так для 4-х тигельного ЭЛИ оно составляет 65 мм.

Угол поворота электронного луча 270 градусов скрывает от запыления керамики и горячие электроды катодного узла.

Съемные поворотные фокусирующие магнитные полюсы на магнитопроводах ЭЛИ, настраиваются пользователем для лучшей фокусировки.

Гибкий вакуумный высоковольтный ввод с длиной проходной изоляции до 300 мм.

Могут комплектоваться индивидуальной пневматической заслонкой на отдельном фланце, которая закрывается по сигналу датчика толщины напыляемой пленки.

Блок отклонения луча обеспечивает «программирование» траектории движения точки фокуса пучка, то есть возможность сканировать электронным пучком по поверхности распыляемого материала без контакта со стенкой тигля.

Имеет джойстик смещения луча X-Y и кнопки пуска/останова на панели и на выносном пульте управления на кабеле длиной до 5 м.

Сохраненные в микроконтроллере формы траектории пучка окружность, линия, треугольник, квадрат, спираль, синус, модуль синуса.

Амплитуда и частота сканирования, профиль энергетического распределения регулируются. Дистанционное управление по интерфейсу RS485.